发明名称 MAGNETRON SPUTTERING METHOD AND SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH04183856(A) 申请公布日期 1992.06.30
申请号 JP19900308859 申请日期 1990.11.16
申请人 UBE IND LTD 发明人 OSADA YUKIHARU;YAMAMOTO KIMISUMI
分类号 C23C14/35 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
主权项
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