| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR DRY ETCHING |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH04183880(A) |
申请公布日期 |
1992.06.30 |
| 申请号 |
JP19900310950 |
申请日期 |
1990.11.16 |
| 申请人 |
NITSUSHIN HAITETSUKU KK |
发明人 |
URANO SHINICHI;OKAZAKI NAOTO;OGINO SEIICHI |
| 分类号 |
C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
