发明名称 PROCESS FOR THE SELECTIVE ENCAPSULATION OF AN ELECTRICALLY CONDUCTIVE STRUCTURE IN A SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 US5126283(A) 申请公布日期 1992.06.30
申请号 US19900526071 申请日期 1990.05.21
申请人 MOTOROLA, INC. 发明人 PINTCHOVSKI, FAIVEL;YEARGAIN, JOHN R.;FILIPIAK, STANLEY M.
分类号 H01L21/316;H01L23/532;H01L29/78 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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