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发明名称 FORMATION OF THIN FILM ON FILM AND DEVICE THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH04183865(A) 申请公布日期 1992.06.30
申请号 JP19900314557 申请日期 1990.11.20
申请人 TONEN CORP 发明人 FUNAOKA HIDEHIKO;HIRAYAMA TADASUKE;ARAI YOSHIHIRO
分类号 C23C14/24;C23C14/56 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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