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发明名称
FINE PROCESSING METHOD USING OBLIQUE METAL DEPOSITION
摘要
申请公布号
US5126288(A)
申请公布日期
1992.06.30
申请号
US19910645215
申请日期
1991.01.24
申请人
ROHM CO., LTD.
发明人
NAKAGAWA, YOSHIKAZU
分类号
H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/338;H01L29/812
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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