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经营范围
发明名称
RETICLE FOR PHOTOLITHOGRAPHIC PATTERNING
摘要
申请公布号
US5126220(A)
申请公布日期
1992.06.30
申请号
US19910648697
申请日期
1991.01.31
申请人
FUJITSU LIMITED
发明人
TOKITOMO, KAZUO;BAN, YASUTAKA;SUGISHIMA, KENJI
分类号
G03F1/08;G03F1/00;H01L21/027
主分类号
G03F1/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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