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发明名称 MICROWAVE PLASMA DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04181646(A) 申请公布日期 1992.06.29
申请号 JP19900310364 申请日期 1990.11.14
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 TAKI MASAKAZU;YOSHIZAWA KENJI;NISHIMAE JUNICHI;NANBA TAKANORI
分类号 H05H1/46;H01J65/04 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
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