发明名称 FLUID FLOW PASSAGE SWITCHING METHOD AND ITS DEVICE, AND SURFACE TREATING PROCESSING METHOD FOR WORKPIECE USING THE ABOVE DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04181006(A) 申请公布日期 1992.06.29
申请号 JP19900304085 申请日期 1990.11.13
申请人 SONY CORP 发明人 KURODA MASAYUKI
分类号 B24C5/04;B24C7/00;F15D1/02 主分类号 B24C5/04
代理机构 代理人
主权项
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