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经营范围
发明名称
COATING APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH04180866(A)
申请公布日期
1992.06.29
申请号
JP19900310445
申请日期
1990.11.16
申请人
SEIKO EPSON CORP
发明人
SHIMIZU NOBUO;NOSE YASUTO;KAMISUKE SHINICHI;YOTSUYA SHINICHI
分类号
B05C11/08;H01L21/027
主分类号
B05C11/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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