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发明名称 SEPARATION DEVICE OF THIN FILM WORKPIECE
摘要
申请公布号 JPH04182231(A) 申请公布日期 1992.06.29
申请号 JP19900164244 申请日期 1990.06.25
申请人 HITACHI ELECTRON ENG CO LTD;MAZDA MOTOR CORP 发明人 KATAHO HIDEAKI;WADA NORIYA;YUMIBA KENJI;SUGIZAKI SHINJI
分类号 B65H3/24 主分类号 B65H3/24
代理机构 代理人
主权项
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