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经营范围
发明名称
SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH04180562(A)
申请公布日期
1992.06.26
申请号
JP19900307403
申请日期
1990.11.13
申请人
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD
发明人
YOKOYAMA MASAHIDE;ONISHI YOICHI;HORI ATSUO
分类号
C23C14/56
主分类号
C23C14/56
代理机构
代理人
主权项
地址
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