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发明名称 PLASMA TREATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04180557(A) 申请公布日期 1992.06.26
申请号 JP19900303939 申请日期 1990.11.13
申请人 HITACHI LTD 发明人 SUZUKI YASUMICHI;SAITO YUTAKA
分类号 C23C14/35;C23C16/50;C23C16/511;H01L21/205;H01L21/31 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
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