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发明名称 SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 JPH04180628(A) 申请公布日期 1992.06.26
申请号 JP19900309723 申请日期 1990.11.15
申请人 NEC YAMAGATA LTD 发明人 SHIRATA KAZUYUKI
分类号 H01L21/322;H01L21/02 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
主权项
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