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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH04180229(A)
申请公布日期
1992.06.26
申请号
JP19900307295
申请日期
1990.11.15
申请人
KAWASAKI STEEL CORP
发明人
OCHI TSUNEO
分类号
H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/768
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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