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发明名称 FORMATION OF CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH04180219(A) 申请公布日期 1992.06.26
申请号 JP19900307130 申请日期 1990.11.15
申请人 CANON INC 发明人 YAMAGATA KENJI
分类号 H01L27/12;C23C16/52;C30B25/18;H01L21/02;H01L21/205;H01L21/84 主分类号 H01L27/12
代理机构 代理人
主权项
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