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发明名称 VERTICAL HEAT-TREATMENT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04177837(A) 申请公布日期 1992.06.25
申请号 JP19900306668 申请日期 1990.11.13
申请人 TOKYO ELECTRON SAGAMI LTD 发明人 MIMURA KOJI
分类号 H01L21/205;H01L21/22;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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