发明名称 MAGNETIC LEVITATION CARRIER
摘要
申请公布号 JPH04178101(A) 申请公布日期 1992.06.25
申请号 JP19900304035 申请日期 1990.11.13
申请人 EBARA CORP 发明人 SHINOZAKI HIROYUKI;MORI SATOSHI;EGUCHI MASATO
分类号 B61B13/08;B60L13/06;B65G54/02;H01L21/677;H01L21/68 主分类号 B61B13/08
代理机构 代理人
主权项
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