发明名称 |
MAGNETIC LEVITATION CARRIER |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH04178101(A) |
申请公布日期 |
1992.06.25 |
申请号 |
JP19900304035 |
申请日期 |
1990.11.13 |
申请人 |
EBARA CORP |
发明人 |
SHINOZAKI HIROYUKI;MORI SATOSHI;EGUCHI MASATO |
分类号 |
B61B13/08;B60L13/06;B65G54/02;H01L21/677;H01L21/68 |
主分类号 |
B61B13/08 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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