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VERFAHREN ZUM REPARIEREN VON UNTERBRECHUNGEN IN DUENNSCHICHTLINIEN AUF EINEM SUBSTRAT.
摘要
申请公布号
DE3779253(D1)
申请公布日期
1992.06.25
申请号
DE19873779253
申请日期
1987.08.18
申请人
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US
发明人
AMENDOLA, ALBERT, DECEASED, US;KUMAR, ANANDA HOSAKERE, WAPPINGERS FALLS N.Y. 12590, US;VANCE, THOMAS RAY, SALT POINT N.Y. 12598, US
分类号
H01L21/3205;H05K3/04;H05K3/20;H05K3/22;H05K3/32;H05K3/40;(IPC1-7):H01L23/52;H01L21/48;H01L21/90;H03K3/22
主分类号
H01L21/3205
代理机构
代理人
主权项
地址
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