发明名称 VERFAHREN ZUM REPARIEREN VON UNTERBRECHUNGEN IN DUENNSCHICHTLINIEN AUF EINEM SUBSTRAT.
摘要
申请公布号 DE3779253(D1) 申请公布日期 1992.06.25
申请号 DE19873779253 申请日期 1987.08.18
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US 发明人 AMENDOLA, ALBERT, DECEASED, US;KUMAR, ANANDA HOSAKERE, WAPPINGERS FALLS N.Y. 12590, US;VANCE, THOMAS RAY, SALT POINT N.Y. 12598, US
分类号 H01L21/3205;H05K3/04;H05K3/20;H05K3/22;H05K3/32;H05K3/40;(IPC1-7):H01L23/52;H01L21/48;H01L21/90;H03K3/22 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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