发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR EPITAXIAL LAYER
摘要
申请公布号 JPH04179218(A) 申请公布日期 1992.06.25
申请号 JP19900307643 申请日期 1990.11.14
申请人 NEC CORP 发明人 MAKITA KIKUO
分类号 H01L21/205;H01L21/20 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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