| 发明名称 |
WAFER HOUSING JIG AND TRANSFER METHOD THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04179143(A) |
申请公布日期 |
1992.06.25 |
| 申请号 |
JP19900302341 |
申请日期 |
1990.11.09 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
IKEDA MINORU;SATO TAKEO;YAMADA TADASHI |
| 分类号 |
B65G1/02;B25J15/08;H01L21/677;H01L21/68 |
主分类号 |
B65G1/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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