发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04179160(A) 申请公布日期 1992.06.25
申请号 JP19900302423 申请日期 1990.11.09
申请人 HITACHI LTD 发明人 ISHII TATSUYA;AOKI MASAAKI;IIJIMA SHINPEI;KIYOTA YUKIHIRO
分类号 H01L29/78;H01L21/8238;H01L27/092 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
地址