| 摘要 |
On décrit un système d'analyse par balayage, comprenant une plaque et un système d'imagerie optique fixes (4) ainsi qu'une échelle de référence translatée (15), lequel système sert à balayer une surface d'objet au moyen d'un faisceau de lumière modulé (8) (ou d'un ensemble de faisceaux parallèles, indépendamment modulés). Le système optique produit un faisceau de lumière combiné comprenant un faisceau de lumière modulé (8) et un faisceau de lumière de référence (9). Un dispositif d'imagerie optique (4) déplace le faisceau combiné le long d'une ligne de balayage, et un élément de fractionnement de faisceau (7), monté de façon à pouvoir être translaté, fractionne le faisceau combiné afin d'orienter au moins une partie du faisceau de référence (9) vers une échelle de référence (15) et un capteur (47). Le capteur (47) d'échelle de référence, qui est fixé de manière rigide à l'élément de fractionnement de faisceau (7), et qui est sensible à la position du faisceau de référence (9) en deux directions, produit un signal de synchronisation indiquant la position du faisceau le long de la ligne de balayage et un signal de position précise indiquant la position du faisceau transversalement par rapport à la ligne de balayage. Un dispositif optique à progression pas à pas commande la translation de l'élément de fractionnement de faisceau (7) de façon à positionner de manière précise chacun d'une série de mouvements de balayage en un sens transversal par rapport aux lignes de balayage. |
