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发明名称 MBE-SYSTEM OHNE SCHWEISSEN.
摘要
申请公布号 DE3485738(D1) 申请公布日期 1992.06.25
申请号 DE19843485738 申请日期 1984.11.09
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INC., DALLAS, TEX., US 发明人 SHIH, HUNG-DAH, PLANO, TX 75023, US;BENNETT, TOMMY JOE, MCKINNEY, TX 75069, US
分类号 H01L21/203;C30B23/02;H01L21/26;H01L21/677;(IPC1-7):C30B23/02 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
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