发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04179248(A) 申请公布日期 1992.06.25
申请号 JP19900307635 申请日期 1990.11.14
申请人 FUJITSU LTD;FUJITSU VLSI LTD 发明人 SATO TAKEHIRO
分类号 G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/66 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
地址