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经营范围
发明名称
PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH04179248(A)
申请公布日期
1992.06.25
申请号
JP19900307635
申请日期
1990.11.14
申请人
FUJITSU LTD;FUJITSU VLSI LTD
发明人
SATO TAKEHIRO
分类号
G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/66
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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