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发明名称 OPTICAL EXPOSURE APPARATUS
摘要
申请公布号 KR920005034(B1) 申请公布日期 1992.06.25
申请号 KR19850070075 申请日期 1985.06.05
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 SUGIYAMA, SYUZI;SYODA, SYUZI;KUNIYOSHI, SHINZI
分类号 G02B27/00;G03F9/00;(IPC1-7):G02B27/00 主分类号 G02B27/00
代理机构 代理人
主权项
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