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发明名称 VERIFICATION METHOD FOR INTEGRATED CIRCUIT MASK PATTERN
摘要
申请公布号 JPH04178775(A) 申请公布日期 1992.06.25
申请号 JP19900308021 申请日期 1990.11.13
申请人 DAINIPPON PRINTING CO LTD 发明人 JINBO YASUO;SHIMOHAKAMADA NAOKI
分类号 H01L21/82;G06F17/50 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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