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经营范围
发明名称
LATERAL LOW-PRESSURE VAPOR GROWTH DEVICE FOR SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号
JPH04177835(A)
申请公布日期
1992.06.25
申请号
JP19900306918
申请日期
1990.11.13
申请人
NEC YAMAGUCHI LTD
发明人
OKAMURA MIKIO
分类号
H01L21/31
主分类号
H01L21/31
代理机构
代理人
主权项
地址
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