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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH04179148(A) 申请公布日期 1992.06.25
申请号 JP19900304357 申请日期 1990.11.08
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 KANAZAWA MASATO
分类号 H01L21/285;H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;H01L23/522 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
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