Verfahren zum Herstellen von Metallstrukturen auf Halbleiteroberflächen,申请号CH19670001945-传众专利搜索

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发明名称	Verfahren zum Herstellen von Metallstrukturen auf Halbleiteroberflächen
摘要
申请公布号	CH484288(A)	申请公布日期	1970.01.15
申请号	CH19670001945	申请日期	1967.02.09
申请人	SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT	发明人	STEPPBERGER,ALFRED;DR. GOETZELER,HERBERT,DIPL.-PHYS.
分类号	C23C14/04;C23F1/00;H01L21/60;H01L23/485;H01L23/532;(IPC1-7):C23C13/06;H01L7/00;H01L19/00	主分类号	C23C14/04
代理机构		代理人
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