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经营范围
发明名称
VACUUM DEGREE ADJUSTING MECHANISM
摘要
申请公布号
JPH04177820(A)
申请公布日期
1992.06.25
申请号
JP19900306921
申请日期
1990.11.13
申请人
NEC YAMAGUCHI LTD
发明人
FUJITA HITOBUMI
分类号
H01L21/02
主分类号
H01L21/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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