MICRODEVICE FOR SENSING OR APPLYING A FORCE AND METHOD OF MAKING THE SAME

摘要

Dispositif de micro-détection ou micro-mécanique basé sur les propriétés piézoélectriques du titane de zirconate (PZT) à fils conducteurs à couche mince d'une épaisseur comprise entre 0,1 et 5 microns. Le PZT en couche mince (11) est pris en sandwich entre des première et seconde électrodes (10, 12), lesquelles sont dotées de moyens de connexion électrique (14, 15) permettant de relier électriquement les électrodes à un capteur de tension ou à une source de tension (16). L'invention concerne également un procédé de fabrication dudit dispositif de micro-détection ou micro-mécanique.