发明名称 METHOD FOR VAPOR DEPOSITING ION BEAM
摘要
申请公布号 JPH04176862(A) 申请公布日期 1992.06.24
申请号 JP19900303356 申请日期 1990.11.08
申请人 JAPAN AVIATION ELECTRON IND LTD 发明人 ITO KAZUHIKO
分类号 C23C14/32 主分类号 C23C14/32
代理机构 代理人
主权项
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