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发明名称
LEAD HEIGHT MEASURING INSTRUMENT
摘要
申请公布号
JPH04177742(A)
申请公布日期
1992.06.24
申请号
JP19900304786
申请日期
1990.11.09
申请人
NEC CORP
发明人
KINOSHITA MASAO
分类号
H01L21/66;G01B11/24;G01N21/84;H01L23/50;H01S3/00
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
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