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发明名称
FORMATION OF INSULATING FILM
摘要
申请公布号
JPH04177751(A)
申请公布日期
1992.06.24
申请号
JP19900304745
申请日期
1990.11.09
申请人
SONY CORP
发明人
WATANABE TETSUO
分类号
H01L23/522;H01L21/318;H01L21/768
主分类号
H01L23/522
代理机构
代理人
主权项
地址
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