| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04176128(A) |
申请公布日期 |
1992.06.23 |
| 申请号 |
JP19900303218 |
申请日期 |
1990.11.08 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP;TOUSHIBA MAIKURO EREKUTORONIKUSU KK |
发明人 |
HAMA KAORU |
| 分类号 |
H01L21/316;H01L21/324;H01L21/76 |
主分类号 |
H01L21/316 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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