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发明名称
ION SOURCE
摘要
An apparatus for the generation of an inductively excited ion or plasma source includes an amplification system and a high frequency excitation coil which are coupled to form a self-starting free-running excitation oscillator.
申请公布号
US5124526(A)
申请公布日期
1992.06.23
申请号
US19910662259
申请日期
1991.02.28
申请人
LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT
发明人
MULLER, JURGEN;GESCHE, ROLAND;ZIPF, MANFRED
分类号
H01J27/14;H01J27/16;H01J37/08
主分类号
H01J27/14
代理机构
代理人
主权项
地址
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