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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR REMOVING IMPURITY GAS PARTICLES FROM A PARTICLE BEAM
摘要
申请公布号 CA836661(A) 申请公布日期 1970.03.10
申请号 CAD836661 申请日期
申请人 GOVERNMENT OF THE UNITED STATES OF AMERICA AS REPRESENTED BY THE SECRETARY OF THE NAVY (THE) 发明人 RICHARD F. POST
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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