发明名称 METHOD FOR PURIFYING NITROGEN TRIFLUORIDE GAS
摘要
申请公布号 JPH04175211(A) 申请公布日期 1992.06.23
申请号 JP19900330023 申请日期 1990.11.30
申请人 MITSUI TOATSU CHEM INC 发明人 ARITSUKA MAKOTO;IWANAGA TOKUYUKI;NISHITSUJI TOSHIHIKO
分类号 C01B21/083;B01J20/18 主分类号 C01B21/083
代理机构 代理人
主权项
地址