发明名称 METHOD FOR PRODUCTION OF DIELECTRIC-SEPARATION SUBSTRATE
摘要
申请公布号 US5124274(A) 申请公布日期 1992.06.23
申请号 US19910791518 申请日期 1991.11.14
申请人 SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD. 发明人 OHKI, KONOMU;OHTA, YUTAKA;KATAYAMA, MASATAKE
分类号 H01L21/3213;H01L21/76;H01L21/762;H01L21/763 主分类号 H01L21/3213
代理机构 代理人
主权项
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