发明名称 THIN-FILM SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04174563(A) 申请公布日期 1992.06.22
申请号 JP19900299920 申请日期 1990.11.07
申请人 CANON INC 发明人 YAMANOBE MASATO;KOBAYASHI ISAO;SAIGA TOSHIHIRO;ISHII TAKAYUKI;TAKEDA SHINICHI
分类号 H01L21/314;H01L29/78;H01L29/786 主分类号 H01L21/314
代理机构 代理人
主权项
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