发明名称 THIN FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04173970(A) 申请公布日期 1992.06.22
申请号 JP19900301061 申请日期 1990.11.08
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 MATSUOKA SHIGETO;ONO KENICHI;HIRUKAWA YOUICHI
分类号 C23C14/34;H01L21/203;H01L21/285;H01L21/31 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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