发明名称 VACUUM VESSEL
摘要
申请公布号 JPH04173962(A) 申请公布日期 1992.06.22
申请号 JP19900299292 申请日期 1990.11.05
申请人 NEC CORP 发明人 MATSUMOTO YOSHINARI
分类号 B01J3/00;C23C14/22 主分类号 B01J3/00
代理机构 代理人
主权项
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