发明名称 HOLLOW CATHODE PLASMA ASSISTED APPARATUS AND METHOD OF DIAMOND SYNTHESIS
摘要
申请公布号 IL86834(A) 申请公布日期 1992.06.21
申请号 IL19880086834 申请日期 1988.06.22
申请人 GENERAL ELECTRIC COMPANY 发明人
分类号 C30B29/04;C23C16/513;C30B25/10;(IPC1-7):B01J19/08;C01B31/06 主分类号 C30B29/04
代理机构 代理人
主权项
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