发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04171966(A) 申请公布日期 1992.06.19
申请号 JP19900300073 申请日期 1990.11.06
申请人 NEC CORP 发明人 TERACHI KAZUFUMI
分类号 H01L23/02 主分类号 H01L23/02
代理机构 代理人
主权项
地址