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经营范围
发明名称
APPARATUS OF LIGHT INTERFERENCE TYPE FOR MEASURING FILM THICKNESS
摘要
申请公布号
JPH04172207(A)
申请公布日期
1992.06.19
申请号
JP19900299316
申请日期
1990.11.05
申请人
NEC CORP
发明人
ISHITANI SHIGERU
分类号
G01B11/06
主分类号
G01B11/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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