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发明名称
METHOD FOR INSPECTING LAYOUT PATTERN
摘要
申请公布号
JPH04172564(A)
申请公布日期
1992.06.19
申请号
JP19900301554
申请日期
1990.11.06
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
YAMAMOTO KUREFUMI
分类号
H01L21/82;G06F17/50
主分类号
H01L21/82
代理机构
代理人
主权项
地址
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