发明名称 |
FORMATION METHOD OF ELECTRODE WIRING OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH04171982(A) |
申请公布日期 |
1992.06.19 |
申请号 |
JP19900300372 |
申请日期 |
1990.11.06 |
申请人 |
TOYOTA AUTOM LOOM WORKS LTD |
发明人 |
YOSHIDA KOJI;MATSUDA HIROAKI |
分类号 |
H01L29/43;H01L21/28;H01L29/74;H01L29/80 |
主分类号 |
H01L29/43 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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