发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04171839(A) 申请公布日期 1992.06.19
申请号 JP19900299408 申请日期 1990.11.05
申请人 NEC YAMAGATA LTD 发明人 SATO AKIRA
分类号 H01L21/66;H01L21/265 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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