发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH04171939(A) 申请公布日期 1992.06.19
申请号 JP19900301562 申请日期 1990.11.06
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 TSUJITA KOICHIRO
分类号 H01L21/3205;H01L23/52;H01L27/10;H01L27/108 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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