发明名称 VAPOR GROWTH METHOD OF SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH04171812(A) 申请公布日期 1992.06.19
申请号 JP19900299471 申请日期 1990.11.05
申请人 FUJITSU LTD 发明人 ITO HIROMI
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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